探针台
Probe Stations
漏电精度
100fA(KEITHLEY2636B实测) |
整体位移精度
3μm |
标配针座精度
3μm(可升级成1μm/0.5μm) |
针座数量
标配3个(可升级6个) |
接口形式
BNC/三同轴接口 |
背电极
可以引出背电极 |