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  • 漏电精度测试
产品说明
  • 结构紧凑,功能实用,高性价比
  • 漏电流精度:10pA/100fa(屏蔽箱内)
  • 整体位移分辨率10μm
  • 应用于高等院校/研究院/公司实验室使用
  • 1微米以上电极/PAD使用
  • 加宽探针架,可放置多个探针座
  • 最大可用于12英寸以内样品测试
  • 兼容高倍率电子显微镜/体式显微镜/金相显微镜,360°旋转和微调升降
  • 针座采用精密丝杠/燕尾传动结构,线性移动,无回程差设计
  • 模块化设计,可以根据应用增加和去除相应模块
  • 多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等
探针台漏电精度测试

创谱仪器基础型组合式探针台,结构小巧,功能实用,在满足基本测试功能基础上,去除了非必要得部件,该探针台系统包含:光学成像部分,隔振平台,探针座,四维调整载片台,真空吸附系统;    创谱仪器可以根据客户应用搭建探针台,以达到更好得使用效果和性价比!

通用参数
漏电精度
10pA(同轴线缆)、100fA(三同轴线缆)
整体位移精度
10μm
探针座标配精度
10μm(可升级0.7μm、1μm、3μm)
探针座标配数量
2个(可放置6个DC探针座/4个RF探针座)
接口形式
香蕉插头、鳄鱼夹、BNC、SMA、N/三同轴
背电极
可引出背电极
成像方式
电子显微镜、双目体式显微镜、金相显微镜、单筒金相显微镜、激光显微镜
电力需求
220VC,50-60HZ

ZH系列基础型组合式探针台
  • 结构紧凑,功能使用,超高性价比
  • 最大可用于12寸以内样品测试
  • 1微米以上电极/PAD使用
  • 漏电流精度:10pA/100fa(屏蔽箱内)
  • 精密丝杠/燕尾传动结构,线性移动,无回程差设计
  • 应用于高等院校/研究所/公司实验室使用
  • 模块化设计,可根据应用增加和去除相应模块
  • 多被用于晶圆测试、LED测试、功率器件测试、MEMS测试、PCB测试、液晶面板测试、太阳能电池片测试、材料表面电阻率测试等

搭配电子显微镜
产品型号 样品卡盘尺寸 样品X-Y行程 位移精度 对比 单价 发货日期 购物车
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CPZH-4 4英寸 50mm×50mm 10μm
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CPZH-6 6英寸 50mm×50mm 10μm
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CPZH-8 8英寸 50mm×50mm 10μm
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CPZH-12 12英寸 50mm×50mm 10μm
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