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  • 参数规格
产品说明
  • PID控温,可加热至300℃
  • 温控精度±0.1℃,有效区域温度均匀性±5℃
  • 位移精度3μm,样品XYZR四维调节
  • TDR系列探针台包括探针台面板,探针架,高精度探针定位器,恒温样品台,样品位移系统,显微成像系统等组成,模块化设计,后期方便升级满足不同应用要求
  • 最大可用于12寸以内样品测试
  • 兼容多种光学显微镜,可以引入光路,完成光电mapping测试
  • 探针采用进口交叉滚珠导轨,线性移动,无回程差设计
  • 1微米以上电极/PAD使用
  • 半圆形探针架,可以放置6个DC探针座/4个RF探针座
  • 全系列搭配显微镜XY精密移动功能,可以选配多种位移行程以及驱动形式
  • 多被用于科研院校搭建测试系统,例:材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等
展示视频
通用参数
漏电精度
10pA(同轴线缆)、100fA(三同轴线缆)
整体位移精度
3μm
加热模块
PID控温,可加热至300℃,控温精度±0.1℃,有效区域温度均匀性±5℃
探针座标配精度
3μm(可升级为1μm、0.7μm/电动)
探针座标配数量
3个
接口形式
香蕉插头、鳄鱼夹、BNC、SMA、N/三同轴
背电极
可引出背电极
成像方式
电子显微镜、双目体式显微镜、金相显微镜、单筒金相显微镜、激光显微镜
TDR系列高温探针台
  • TDR系列探针台包括探针台面板,探针架,高精度探针定位器,恒温样品台,样品位移系统,显微成像系统等组成,模块化设计,后期方便升级满足不同应用要求
  • 最大可用于12寸以内样品测试
  • 探针台整体位移分辨率3μm,样品XYZR四维调节
  • 兼容多种光学显微镜,可以引入光路,完成光电mapping测试
  • 探针采用进口交叉滚珠导轨,线性移动,无回程差设计
  • PID控温,可加热至300℃,控温精度±0.1℃,有效区域温度均匀性±5℃
  • 1微米以上电极/PAD使用
  • 半圆形探针架,可以放置6个DC探针座/4个RF探针座
  • 全系列搭配显微镜XY精密移动功能,可以选配多种位移行程以及驱动形式
  • 多被用于科研院校搭建测试系统,例:材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等

产品展示
产品型号 样品卡盘尺寸 样品X-Y行程 位移精度 对比 单价 发货日期 购物车
参数+
TDR-4 4英寸 4英寸×4英寸 3μm
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TDR-6 6英寸 6英寸×6英寸 3μm
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TDR-8 8英寸 8英寸×8英寸 3μm
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TDR-12 12英寸 12英寸×12英寸 3μm
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