探针台
Probe Stations
整体结构外形尺寸:200mm×45mm×80mm(LWH),位移精度:10μm,电压≤1000V,适用于100μm以上电极
材质
优质航空铝,表面喷砂氧化黑 |
探针位移行程
XYZ三维分别13mm+360°旋转+任意角度倾斜 |
接口形式
同轴线缆(可选BNC、鳄鱼夹、香蕉插头、SMA、N型)/三同轴接口 |
匹配探针夹具
L型镀金弹簧探针夹具,适配直径0.5mm以下探针 |
同轴线缆漏电精度
10pA(KEITHLET2636B实测) |
三同轴线缆漏电精度
100fA(KEITHLET2636B实测) |
整体结构外形尺寸:200mm×45mm×80mm(LWH),位移精度:10μm,电压≤1000V,适用于100μm以上电极