PID控温,可加热至300℃
温控精度±0.1℃,有效区域温度均匀性±5℃
位移精度3μm,样品XYZR四维调节
TDR系列探针台包括探针台面板,探针架,高精度探针定位器,恒温样品台,样品位移系统,显微成像系统等组成,模块化设计,后期方便升级满足不同应用要求
最大可用于12寸以内样品测试
兼容多种光学显微镜,可以引入光路,完成光电mapping测试
探针采用进口交叉滚珠导轨,线性移动,无回程差设计
1微米以上电极/PAD使用
半圆形探针架,可以放置6个DC探针座/4个RF探针座
全系列搭配显微镜XY精密移动功能,可以选配多种位移行程以及驱动形式
多被用于科研院校搭建测试系统,例:材料电学测试系统、光电探测器光电响应系统、光电Mapping测试系统、忆阻器与神经元系统等